如何进行干式真空泵正确选择

　　不同类型的干式真空泵，我们一直都在渴望能够减小其物理尺寸。然而，这与真空泵的抽气速度相矛盾，因为真空泵的抽气速率与真空泵的体积成比例。小的物理尺寸意味着音量也很小。
　　当然，影响真空泵抽速的另一个重要因素是速度。为了使小型真空泵的抽吸速度与大型真空泵的抽吸速度一致，需要提高速度。而要改变真空泵的转速有两种方法，一种是改变电源的频率，即使用变频器；二是改变变速箱的比例。
　　其中，使用变频器的好处是可以提供一个闭环控制，但容易导致重载下的转矩损失。改变齿轮箱的齿轮比是一个非常经济的方法，当然它只能提供单一的速度不能被控制。
　　干式真空泵意外错误会造成机器使用效率降低，影响晶圆的生产和交货，甚***成晶圆废料和其他零件的加工损坏。由于螺杆设计采用单级设计，因此与多级泵（如球缝，爪和组合）相比，所用零件的数量可减少多达60%.这对稳定性和未来的维护成本来说是一个很大的优势。
　　总的来说，如果用户认为耗电量对他来说是重要的，那么选择一个内部加压螺钉可能是一个不错的选择，而氮含量对他来说是*不重要的。但总的来说，对尾气处理的要求越来越严格，减少未来使用的氮气量就显得尤为重要。如果您想要处理各种各样的半导体工艺，而不用一种简单的库存控制泵来改变它们，外部压紧螺丝是*好的选择。
　　根据情况，结合以上所有设计类型的优势是理想的选择，但还不可能。因此，用户需要知道干泵的设计有多种不同的设计类型，然后根据自己的工艺特点来了解不同类型泵设计的影响。这种选择可以使其使用成本小化，并获得更长的使用寿命和稳定的真空系统。
     总之，根据要求进行干式真空泵的选择，是可达到保证设备使用及用户成本较好的方法，所以用户在选择真空泵时，一定要根据自己的要求进行。