很多时候，污染不光表现在外在的环境对我们的各种活动所造成的影响，还表现在我们使用的各种物品上对我们造成的影响，对于罗茨真空泵来说，泵油既是常备产品，又可能造成污染。
罗茨真空泵一切光滑油都依其化学组成和所处外界条件的不同，而具有不同水平的自动氧化倾向。真空泵油在有空气(或氧气)及金属催化剂的存在下，在一定温度下的氧化时间里，会呈现油品的酸值、粘度变化及生成沉淀物的状况。会随运用过程而发作氧化作用，因此逐步生成一些醛、酮、酸类和胶质、沥青质等物质，氧化安定性则是抑止上述不利于油品运用的物质生成的性能。水蒸气在紧缩过程中会凝结成水滴，并与泵混合构成悬浮液，不只会使真空度降落，也能使泵腔与转子生锈，破坏密封面，使泵的真空度降落。因此防止水蒸气对机械泵的污染很重要。
一般的防止的措施有：选用带有气镇装置的油封机械泵；装油分别器、离心式分别器或油水分别器，将混有水的机械泵油中止处置，处置过的油再流入泵中运用；运用吸水性强的单调剂；运用液氮冷阱，不只能有效地吸附水蒸气，同时还可以阻挠机械泵油向高真空室返流。油扩散泵真空系统是运用普遍的真空系统，其获得真空度范围为1.3×10-3—1.3×10-5Pa。油扩散泵真空系统构成的各类真空装置，长期运用后，常见的缺点是真空度抽不上去，或真空度抽不到原来的真空水平。
因此，我们对泵油的使用归使用，但是在针对防治污染的问题上，我们可不能犹豫，这样的问题要今早解决好，不然可影响我们对罗茨真空泵的使用。
